Сканирующий электронный микроскоп

Другой формой, хорошо подходящей для изучения поверхности, является применение сканирующего электронного микроскопа. Этот прибор особенно удобен при исследовании биологических образцов или других материалов, которые могут разложиться под действием электронного пучка при исследовании на обычном электронном микроскопе.

Сканирующий электронный микроскоп разработан Оутлеем и его коллегами (Мак-Мулланом, 1952 г.; Смитом и Оутлеем, 1955 г.) в инженерной лаборатории Камбриджского университета.

Электронный луч, падая на объект, фокусируется в пятно, диаметр которого может быть меньше 200 А. Это позволяет сканировать объект аналогично тому, как это делается с помощью телевизионной камеры. Изображение получается в результате собирания электронным умножителем вторичных электронов, отражаемых образцом.

Получаемый таким образом усиленный сигнал используется для модулирования интенсивности пятна на катодном осциллографе, сканированном синхронно с электронным пятном на микроскопе.

Таким путем можно получить яркое изображение с помощью пучка очень низкой интенсивности, который может вызвать лишь незначительные изменения в образце. Мак-Ауслан (Боуден и Мак-Ауслан, 1956 г.) использовал этот метод для изучения некоторых подробностей термического разложения кристаллов азида (соли азотноводородной кислоты).

Кристалл помещался в микроскоп на металлическую пластинку, которая могла быть нагрета до требуемой температуры. Представлялась возможность проследить и сфотографировать последовательные стадии разложения через удобные интервалы времени.

Приложение I. 3 иллюстрирует стадии термического разложения кристалла азотно-водородного серебра.

Кристалл представляет собой длинную иглу с поперечным сечением около микрона.